導入実績

ウェハー洗浄装置

ウェハーを自動又は手動にて洗浄する装置です。

下記項目にて、お客様のご要望に応じた装置を製作します。

※下記の限りではありません。

その他のご要望がございましたら、ご相談下さい。

 

  ウエハサイズ     : 3~12インチまでの各種

  処理枚数        : 1~50枚(1バッチ/1キャリア or 2キャリア)

  キャリア有無       : キャリア有洗浄/キャリアレス洗浄

  処理構成        : 使用薬液に応じた設計をします。

  薬液供給システム  : 工場側より直接供給(CCSS)/薬液供給ユニット

  乾燥機          : スピンドライヤー/IPAペーパードライヤー

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キャリア洗浄装置

キャリアを自動又は手動にて洗浄する装置です。

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石英管洗浄装置

炉芯管及びパーツ治具を洗浄する装置です。

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ドラフトチャンバー

一般的な化学エッチングあるいは試料の洗浄をします。

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薬液供給ユニット

タンク自動切り替え機能付きです。

供給機構は、ポンプ又はN2加圧式を選択できます。

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PCモニタリングシステム

PCにてレシピ、装置パラメータ、LOT履歴、アラーム履歴等を管理します。

また、CIM通信を行い、情報の共有化が可能です。

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電気回路図面設計

お客様の仕様に応じた設計をします。(DWG又はDXFにて作成)

電気回路図、系統図、配置図、製缶図、その他資料作成

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工事(改造)メンテナンス

オーバーホール : クリーニング、機器点検、惣および配管点検、修理等を行います。

使用薬液変更  : 使用薬液変更に伴う改造を行います

制御リニューアル  : 制御機器の生産中止品などを新しい機器(代替品)にリニューアルします。 

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PLCプログラム設計

お客様の仕様に応じた設計をします。

三菱、オムロン、キーエンス、シャープ、東芝、IDEC etc.

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タッチパネル設計

お客様の仕様に応じた設計をします。

三菱、オムロン、キーエンス、デジタル、発紘、IDEC etc.

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制御盤制作

お客様の仕様に応じた制作をします。

自立型、キャビネット型 etc.

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機内配線工事

お客様の仕様に応じた配線をします。

装置出荷に伴う、解体/復旧作業も可能です。

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デバッグ/ランニング

配線工事完了後のIOチェック~動作確認完了まで行います。

エンドユーザーでの立上げ作業も可能です。

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