各種システム設計
電気回路図面設計
お客様の仕様に応じた図面（電気回路図、系統図、配置図、製缶図など）の設計を行います。
図面作成はAutoCAD(DWG、DXF形式)にて行っております。
PLCプログラム設計
お客様の各種機器(PLC等)に合わせた制御設計を行います。
弊社では三菱、オムロン、キーエンス、シャープ、東芝、IDECなどの実績があります。
タッチパネル設計
お客様のタッチパネル機器にあわせた画面設計を行います。
弊社では三菱、オムロン、キーエンス、デジタル、発紘、IDECなどの実績があります。
各種製作・工事・改造
制御盤制作
お客様の仕様（自立型、キャビネット型など）に応じた制御盤の制作を行います。
機内配線工事
お客様の仕様に応じた配線をします。
装置出荷に伴う、解体／復旧作業も可能です。
配線工事完了後のデバッグ／ランニング（IOチェック～動作確認完了）まで行います。
エンドユーザーでの立上げ作業も可能です。
工事（改造）メンテナンス
オーバーホール ： クリーニング、機器点検、惣および配管点検、修理等を行います。
使用薬液変更 ： 使用薬液変更に伴う改造を行います
制御リニューアル ： 制御機器の生産中止品などを新しい機器（代替品）にリニューアルします。
FAシステム導入実績
当社は様々な種類の装置やシステムを、提案から開発・導入まで実施しております。
一部ではございますが、これまでの導入事例についてご紹介させていただきます。
ウェハー洗浄装置
半導体材料のウェハーを自動又は手動にて洗浄する装置です。
下記の設計項目にて、お客様のご要望に応じた装置を製作しますのでご相談ください。
設計項目
- ウエハサイズ ： ３～１２インチまでの各種
- 処理枚数 ： １～５０枚（１バッチ／１キャリア or ２キャリア）
- キャリア有無 ： キャリア有洗浄／キャリアレス洗浄
- 処理構成 ： 使用薬液に応じた設計をします。
- 薬液供給システム ： 工場側より直接供給（ＣＣＳＳ）／薬液供給ユニット
- 乾燥機 ： スピンドライヤー／ＩＰＡペーパードライヤー
※上記以外の設計項目もご対応できます。
その他の洗浄装置
ウェハー以外にも各種アイテムを洗浄する装置を製作しております 。
洗浄装置一覧
- キャリア洗浄装置
- 石英管洗浄装置
- ドラフトチャンバー
※上記以外の洗浄装置もご対応できます。
ＰＣモニタリングシステム
ＰＣにてレシピ、装置パラメータ、LOT履歴、アラーム履歴等を管理します。
また、ＣＩＭ通信を行い、情報の共有化が可能です。
薬液供給ユニット
洗浄装置などに薬液を供給するユニットの製作を行います。
供給機構は、ポンプ又はＮ２加圧式を選択でき、薬液タンクの自動切り替え機能も追加可能です。
その他開発実績
- 太陽電池関連装置
- 自動化 / 省力化装置
- 梱包、箱詰め機